ASDevices 为名为 MEID 的新型传感技术申请专利

ASDevices 很高兴宣布已为“亚稳态发射电离检测器”（MEID）提交了一项新专利申请。这是一种革命性的新型气体传感器，旨在同时应用于连续监测和色谱分析领域。该新型传感器最初将用于测量半导体和超高纯度市场中的超痕量 H₂O 和 O₂浓度。它将与腔环下衰减光谱法（CRDS）、可调谐二极管激光光谱法（TDLS）以及电化学池等技术展开竞争，同时还将覆盖其他应用领域，例如挥发性有机化合物（VOC）测定以及目前通过电感耦合等离子体（ICP）进行的各类元素测定。

“MEID 是 ASDevices 目前正在积极研究的新领域。经过长期研究，我们现正全力推进这一项目，以巩固我们的市场地位并丰富产品阵容。得益于我们近期在专利增强型等离子体放电（EPD）源及其他目前尚无法透露的支撑技术方面的工作，MEID检测器即将成为现实。该检测器将开辟新的分析测量途径，并惠及半导体市场的客户——他们目前正因缺乏适合的替代技术而难以进行超痕量O₂和H₂O分析，”ASDevices首席执行官伊夫·加马什（Yves Gamache）表示。

MEID 技术采用稳定的等离子体源，利用氩、氦、氮或其组合产生亚稳态粒子。ASDevices 在制造高度稳定的等离子体源方面拥有数十年的经验，这将显著提升该技术的性能。为了使进入测量腔的杂质电离，会使用高能亚稳态粒子源。亚稳态粒子通过与杂质碰撞，在腔内传递能量。碰撞会引发激发和电离。杂质的激发会产生特定的发射波长，这些波长可通过选择性光学滤光片进行测量。离子收集则利用我们久经考验的高品质 eSense 电计来检测杂质的电离情况。 该技术将采用先进算法，通过结合发射光谱与电流传感，同时采集定性与定量信息，从而提高选择性和灵敏度。由于样品基质和载气不会被电离，该技术的精度将极具优势。ASDevices计划于2023年底或2024年初发布其MEID技术（详情待定）。

MEID是ASDevices的一项新兴研究领域。作为等离子体式气体检测器行业的领导者，ASD将继续在该领域投入大量资源，以进一步发展其旗舰技术——增强型等离子体放电（EPD）技术。该技术凭借其卓越的性能、可配置性，以及能够使用低成本的氩气作为载气（而非氦气或氢气等易燃气体）的优势，目前已被全球众多客户采用。今年，ASDevices
将推出基于其专有增强型等离子体放电（EPD）技术的新型检测器系列。ASDevices不断开拓新领域，以保持其市场领导地位。

关于 ASDevices

ASDevices 是一家专注于工艺气体和实验室气体分析技术及设备的国际公司。ASDevices 通过提供可靠、高质量的解决方案，帮助各类组织克服分析方面的挑战。该公司的创始人和合伙人在气相色谱（GC）领域拥有超过 30 年的创新经验，并在全球范围内拥有超过 180 项专利。ASDevices 拥有其开发的所有技术，并且是全球唯一一家掌握与燃料电池级氢气（尤其是痕量硫分析）这一高难度测量相关的所有关键工艺气相色谱技术的公司。www.asdevices.cn