智能等离子体辅助纯化系统(PAPS)

双重加热器技术

在该领域众所周知，由于碳氢化合物裂解和金属在高温下被处理，传统的加热器纯化器会释放出微量的H2。我们专有的双级纯化设计开启了一个更好的纯化过程和卓越的性能。

随着第二个容器在较低的温度下运行，第一个容器释放的H2被减少到1 ppb以下。

• < 1 ppb 的纯度
• 无H₂释放

寿命检测技术

基于脉冲放电光反馈检测器（PDOFD），我们的纯化器的创新寿命检测技术拥有双重用途的反馈系统，包括低成本的光学测量装置和脉冲放电发生器。其结果是一个独特的检测器，可以监测气体质量并提供诊断和报警，所有这些都是实时的。